采用激光傳感器，精度高。有單測頭和雙測頭，并可選配實現(xiàn)自動上下料。
倒置式顯微掃描，結構緊湊，體積小巧
可實現(xiàn)一鍵式操作，自動對焦、自動掃描，提升圖像質量
配合激光器工作，實現(xiàn)自動控制，提升焊接精度
針對用戶的電機，設計各種適用工裝；產(chǎn)品所需的性能參數(shù)，系統(tǒng)具有自動采集，分析結果，歷史數(shù)據(jù)存儲等功能
涂膠顯影設備主要應用在晶圓生產(chǎn)中的前道EUV光刻中，以及后道的封測和LED制造中，在晶圓生產(chǎn)中起到重要作用。
